超精(jīng)密零配件加工方(fāng)法的(de)特點是對外表層(céng)物質去除或添加的量能(néng)夠作極細微的控製。但是要獲得cnc超精密零件加工精度,仍有賴於精(jīng)密的加(jiā)工設備(bèi)和準確的克製係統,並采用(yòng)超精密掩(yǎn)膜作中介物。例如超大規模集成電路的製版即使采用電子束對掩膜上的光致抗(kàng)蝕劑(見光(guāng)刻)舉行曝射,使光致(zhì)抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉,製成掩(yǎn)膜。電子束曝射製版必(bì)要采用工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。
超精密零(líng)配件加工,主要有超(chāo)精密車削(xuē)、鏡麵磨削和研(yán)磨等。在超精密車床(chuáng)上用通過精細研磨的(de)單晶金剛石車刀(dāo)舉行(háng)微量車削,切削厚(hòu)度僅1微米左右,常用於(yú)加工有(yǒu)色金屬材料的球麵、非球麵和(hé)平麵的反射鏡等高精度、外表高度光潔(jié)的零(líng)件。例如加工核聚(jù)變(biàn)裝置用的直徑為800毫(háo)米的非球麵反射鏡,高精度可達0.1微米(mǐ),外表粗糙度為Rz0.05微米。
超精密零配件加工精度以納米(mǐ),甚(shèn)至後以原子單位(wèi)(原(yuán)子晶格距(jù)離為0.1~0.2納(nà)米)為目標時,超精密(mì)零件切削加工方法已不能適應,必要借助特種精密零配件加工的方法,即應(yīng)用化學能、電(diàn)化學能、熱(rè)能或(huò)電(diàn)能等,使這些能(néng)量超越原子間的聯合能,從而去(qù)除工件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格(gé)變形,以達到超精密加工的目的。屬於這類加工的有(yǒu)機械化學拋光、離子濺射和離子(zǐ)注入、電子束曝射(shè)、激光束(shù)加工(gōng)、金屬蒸鍍和分子(zǐ)束外延等。